随着近来的零件小型化和半导体高集成化趋势,因静电放电(ESD)而引起的电路或器件的静电破坏已成为一大问题。
众所周知,MOS结构的IC、FET及高频器件等产品对静电非常敏感,容易受到静电破坏。
半导体器件的静电破坏模式
器件的静电破坏模式大致分为以下3种:人体带电模式(HBM)、机器模式(MM)、器件带电模式(CDM)。
■ 人体带电模式(HBM)
人体所带的电荷接触到器件端子时放电的模式。
发生原因(例如) ● 未穿着防静电腕带、导电鞋 ● 直接用手接触端子等 |
■ 机器模式(MM)
金属装置所带的电荷接触到器件端子时放电的模式。
发生原因(例) ●设备或机器人的带电、接地不充分 ●电络铁的电源泄漏等 |
■ 器件带电模式(CDM)
器件的导体部(芯片、电线、引线框等)带静电、器件端子接触到设备或工具夹具时放电的模式。
发生原因(例如) ●IC的自动装配机的搬运部发生摩擦带电等 |
* 人体带电模式(HBM)
* 机器模式(MM)
* 器件带电模式(CDM)
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